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ZYGO 菲索型激光干涉仪
来源 : 江苏省计量科学研究院
日期 : 2023-02-10
菲索移相式激光干涉仪，具有快速条纹采集系统（QFAS），双CCD，实现QPSI抗震机械相移模式测量，精密测量各种反射面和光学系统的表面面形、光学系统的传输波前。
测量范围：φ150mm（6英寸）
RMS重复性：λ/10000（0.06nm），
