(1) 测量精度高。平面尺寸精度可达1μm以下,空间尺寸精度可达1 μm～3μm。

(2) 可实现空间三维尺寸的测量，实现自动化检测，为测量尺寸、形状和位置提   供了足够的灵活性，节约了测量成本，提高了检测效率。

(3)功能强大的测量软件，使测量变得更容易。三坐标测量机能较容易地做到从CAD数据到产生测量程序。测量时，软件产生CAD元素，可以同时进行编程、编辑和测量等复杂的操作。工件的测量程序也可以用多种方法产生：使用数模产生测量程序、通过输入工件图纸的数据产生测量程序、可以使用CMM反向工程的工具产生测量程序、通过编程产生测量程序。

（4）逆向工程技术。三坐标测量机在逆向工程技术和曲面坐标检测方面具有特殊的优势，非常适于模具制造业。